真空烧结炉主要用于活性金属和难溶金属以及硬质合金，磁性材料和不锈钢等的烧结。真空烧结炉实际上是低压(减压)烧结。真空度越高，越接近中性气氛，越与材料不发生任何化学反应。
真空烧结炉的主要优点是：
(1)真空有利于硅，铝，镁，钙等杂质或其氧化物的排除，起到提纯材料的作用。
(2)真空有利于排除吸附气体，对促进烧结后期的收缩作用明显。
(3)真空是理想的惰性气氛，当不宜用其他还原性或惰性气体时，或者对容易出现脱碳，渗碳的材料，均可采用真空烧结炉。
(4)减少气氛中的有害成分(水，氧，氮等)对产品的玷污。例如，电解氢中的含水量要求降至露点-40℃较为困难;而真空烧结时，真空度只要在数百Pa就相当于含水量为露点-40℃。
(5)真空可改善液相烧结的润湿性，有利于烧结过程中的收缩和改善合金的组织结构。
