专注于高温加热设备的工匠|真空炉|箱式炉|管式炉|气氛炉|高温炉|PECVD系统|气氛烧结炉

咨询电话:180-3717-8440
真空炉,箱式炉,管式炉,气氛炉
咨询产品
  • 多种国家专利

    研发实力雄厚
  • 定制经验丰富

    强大的技术团队
  • 十年业内经验

    客户信赖的品牌

1600℃ 3通道CVD设备

1600℃ 3通道CVD设备

1600℃ 3通道CVD设备

PT-T1600 CVD 是一种管式炉,具有 80mm 直径的氧化铝管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品介绍:  
    PT-T1600 CVD 是一种管式炉,具有 80mm 直径的氧化铝管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。
技术参数:
产品名称 3通道CVD设备
型号 PT-T1600 -3M
显示 液晶触摸屏
最高温度 1600℃
工作温度 ≤1500℃
升温速率 0~10℃/min
温区 300mm
加热元件 MoSi2
热电偶 B型
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 80x1000mm
材质:氧化铝管
 
塞砖 包括两个纤维陶瓷块,用于阻挡来自管内的热辐射(陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔)。
 
温度控制 PID自动控制
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
电源 220V, 50 Hz, 单相最大6KW
质量流量计
(液晶触摸屏)
三台精密质量流量计: MFC 1:气体流量范围0~100 sccm MFC 2:气体流量范围0~200 sccm MFC 3:气体流量范围0~200 sccm (气体流量范围可根据您的要求) 底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合
 
更多参数可按需定制
下一篇:1200℃PECVD系统