专注于高温加热设备的工匠|真空炉|箱式炉|管式炉|气氛炉|高温炉|PECVD系统|气氛烧结炉

咨询电话:180-3717-8440
真空炉,箱式炉,管式炉,气氛炉
咨询产品
  • 多种国家专利

    研发实力雄厚
  • 定制经验丰富

    强大的技术团队
  • 十年业内经验

    客户信赖的品牌

滑动式PECVD设备

滑动式PECVD设备

滑动式PECVD设备

滑动式PECVD设备是应用于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜的一款新的探索工具。

产品介绍:
    该设备是一款带有预热系统的滑动PECVD系统。该系统包含等离子射频电源,预热炉,滑动式管式炉,4通道质量流量供气系统和旋片泵组成。可用于生长纳米或CVD方法来制作各种薄膜。
产品用途:
    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。是应用于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜的一款新的探索工具。
技术参数:
产品名称 带预热系统滑动式PECVD设备
滑轨管式炉部分
产品型号 PT-T1200-S06LC
炉管尺寸 60*长度1600mm
可选其他直径Φ50,80,100,120,150mm
炉管材质 石英管
加热区 双温区,每个温区长度200mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 触屏控制
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min可调  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
炉体结构 炉体带滑轨,可实现快速升温和降温
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
预热炉
主要参数 最高温度1100度 ,多段程序控温,可将固体和液体原料放在预热炉中,气化后与气体原料相混合
真空系统部分
主要参数 采用机械,可实现炉管内的真空
气路系统部分
名称 四路质量流量计(量程可选)
等离子电源部分
功率范围 0-500W(连续可调)
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围)
更多规格可根据客户需求定制