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高温化学气相沉积系统

高温化学气相沉积系统

高温化学气相沉积系统

主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺研究。

产品介绍:
    此款定制高温气相沉积系统主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺的研究。
产品特点:
  1、该系统由高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,智能控温无需要人看守。
  2、炉膛采购氧化铝多晶纤维材料。炉管两端采用不锈钢法兰密封,密封法兰上安装有相关进气口及出气口
应用范围:
     广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品参数:
产品名称 定制高温CVD系统
  沉积炉
产品型号 PT-T1500CVD-DZ
炉膛模式 开启式
炉膛材料 氧化铝耐火纤维
加热元件 U型硅钼棒
极限温度 1600℃高温区     
工作温度 ≤1500℃高温区    
升温速率 ≤10℃/min
加热温区 单温区、双温区、多温区
温区总长度 200、300、400mm
炉管材质 刚玉管
炉管直径 40、50、60、80、100mm
密封方式 定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
底部法兰有三个进气口 方便进气
底部法兰加支架  方便工件放在沉积炉低温区
控制模式 每个温区单独 30段智能PID程序控温
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件 B型双铂铑热电偶
供电电源 220V/380V   50HZ
供气系统     集成在控制柜上
气体通道 可同时连接多种气源
流 量 计 浮子流量计
A路量程  1L/MIN
B路量程  1L/MIN
C路量程   1L/MIN
气路压力 -0.1~0.15 MPa
截止阀 不锈钢材质
气体连接管 1/4不锈钢管
气化炉A、B
最高温度 700
工作温度 500
炉膛尺寸 定制
开门方式 上开
进气口 一个进气口
出气口 一个出气口
售后服务 12个月质保(易耗件及人为损坏除外),终身保修