等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术是借助于辉光放电（等离子体）使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜技术生长的一种系的制备技术。我公司依据实验要求设计制作该款设备以适应各类薄膜研究的需要。
主要功能和特点：
1、采用专业加热元件，炉膛保温材料采用多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于国内纤维材料。
2、整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度达到最高点，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
4、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。
5、PECVD管式炉系统由：射频电源，管式炉加热区系统，质子流量计供气系统，真空系统,气体定量系 统组成。
产品参数：
| 产品名称 | PECVD |
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| 产品型号 | PT-PECVD | |
| 500W 射频电源 | ||
| 匹配功率范围 | 0-500W+1%可调 | |
| 工作频率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
| 反射功率 | 最大200W | |
| 匹配方式 | 自动 | |
| 输出接口 | UHF或N型或7/16(L29) | |
| 冷却 | 强制风冷 | |
| 电压频率 | 220V 50Hz | |
| 匹配阻抗范围 | 实部0-80Ω 虚部-j200~+j200(可根据负载调节阻抗) | |
| 管式加热系统 | ||
| 滑道 | 带滑道，可手动滑动炉膛，实现快速升温或冷却功能 | |
| 加热区长度 | 300mm | |
| 炉管尺寸 | 60mm x1600mm 外径x长 | |
| 炉管材质 | 高纯石英管 （SiO2 ≥ 99.99%） | |
| 工作温度 | ≤1100℃ | |
| 温控系统 | 智能化30段PID微电脑可编程自动控制 | |
| 温控精度 | ±1℃（具有超温及断偶报警功能） | |
| 加热速率 | 建议0~10℃/min | |
| 加热元件 | 电阻丝 | |
| 额定电压 | 单相220V 50Hz | |
| 可通气体 | 氮气、氩气等惰性气体 | |
| 测温元件 | 热电偶测温 | |
| 壳体结构 | 双层壳体结构带风冷系统 | |
| 真空法兰 | 法兰一端带1/4”卡套接头进气口，60转KF50快装法兰。另一端带控压阀,气动泄压阀和放气阀。 | |
| 供气系统 | 四路精密质子流量计： 测量精度：±1.5% F.S. 流量范围: 0~200 sccm（含10%甲烷的氩气） 流量范围: 0~200 sccm（含10%甲烷的氩气） 流量范围: 0~200 sccm（氩气） 流量范围: 0~500 sccm（含10%甲烷的氩气） 通过触屏来调节气体流量 |
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| 真空系统 | 旋片泵，真空度在空炉冷态可达1pa， 真空计：进口数显真空计实时显示真空度，精度高。 |
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| 控压系统 | 控压范围 -20kpa 到 20kpa （也可按客户要求设计） | |
| 自动化控制 15”触摸屏 |
触摸屏界面集成控制炉子，真空泵，质量流量计以及射频电源。炉子部分需要先设好温度时间曲线。集成控制部分可以控制温度曲线的启停，真空度，气体流量，射频功率和射频启停,泄压阀等。 | |
| 标准配件 | 数显真空计2个，石英炉塞1对，高密封法兰1对，氟胶密封圈2对，高温坩埚钩1把，拆卸法兰六角扳手1把，保修卡说明书1份 | |
| 备注 | 法兰，质量流量计，阀门，管路等用316不锈钢材质 | |
