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混气PECVD设备

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混气PECVD设备

PT-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。

产品描述:
    PT-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。
 
产品参数:
 
型号 PT-T1200 PECVD
第一部分:标准件
等离子射频电源
 
输出功率 5 -500W可调,均匀性 ± 1%
RF频率 13.56 MHz ±0.005%
反射功率 最大 200W
射频输出端口 50 Ω,N型
噪音 <50 dB.
冷却 空气冷却
管式炉部分
 
显示 LED
形式 分体式和上部可打开
连续工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议:0~10℃/min(最大20℃/min)
温区长度 500mm
加热元件 含钼电阻丝
热电偶 K型
温度均匀性 ±1℃
炉管尺寸 200m外径 X 长度1600mm
材质:石英管 
温度控制 通SCR功率控制进行 PID 自动控制
加热曲线 30步可编程
法兰 不锈钢带阀真空法兰 
电压 380V, 50 Hz, 三相最大 20KW
真空泵  旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵将设计成带轮的推车。
质量流量计 三款精密质量流量计:
MFC 1:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 2:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 3:气体流量范围从 0~100 sccm
(或根据您的要求)
底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合
 
数字真空计 皮拉尼数字真空计 
混气pecvd设备
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