专注于高温加热设备的工匠|真空炉|箱式炉|管式炉|气氛炉|高温炉|PECVD系统|气氛烧结炉

咨询电话:180-3717-8440
真空炉,箱式炉,管式炉,气氛炉
咨询产品
  • 多种国家专利

    研发实力雄厚
  • 定制经验丰富

    强大的技术团队
  • 十年业内经验

    客户信赖的品牌

高真空倾斜旋转pecvd系统

高真空倾斜旋转pecvd系统

高真空倾斜旋转pecvd系统

此高真空倾斜旋转pecvd系统可混合1-4种气体用于PECVD炉,广泛用于生产高品质的SiO2薄膜等。

产品描述:
    此PT-PECVD是一种分体式管式炉,直径60mm石英管,真空泵和4通道质量流量计气体流动系统。可混合1-4种气体用于PECVD炉,广泛用于生产高品质的SiO2薄膜等。

技术参数:

型号

PT-PECVD

显示

液晶触摸屏

打开方式

分体式和上部可打开

限度温度

1200℃短时间

连续工作温度

≤1100℃

升温速度

建议:0~10℃/min(最大20℃/min)

温区

400mm

加热元件

含钼电阻丝

热电偶

K型

温度控制
精度

±1℃

管尺寸

OD60mm x 100mm x 60mm
管长:1600 mm

材质:石英管

温度控制

通过SCR功率控制进行PID自动控制

加热曲线

30步可编程

真空法兰

不锈钢真空法兰带阀、进出气口
 磁流体密封旋转接头

电压

220V,50Hz,单相
(或根据您的要求)

定制功能

旋转和倾斜
倾斜角度:0-30°(建议:0-15°)
管子转速:0-10r/min
 
通讯口
通过计算机控制温度、质量流量、转速和真空泵。
 

输出功率

5 -500W 可调,稳定性 ± 1%

射频频率

13.56 MHz ±0.005% 稳定性

反射功率

最大 200W

匹配

自动的

噪音

<50 分贝。

冷却

空气冷却。

涡轮真空泵

极限真空2.7*10-3 Pa。

型号:GSP-5

抽速:6L/S

输入电压:500W

额定转速(rpm):1800

分贝(A):54

型号:FF-620F

抽速:600L/S

额定转速(rpm):27000

轴承:陶瓷轴承注油量:150ml

涡轮真空泵将被设计成带轮子的推车。

 

四台精密质量流量计:

MFC 1:气体流量范围为 0~100 sccm

MFC 2&3:气体流量范围为 0~100 sccm

MFC 4:气体流量范围从 0~100sccm

一个气体混合罐安装在底壳上,带有4个不锈钢针

底壳左侧装有阀门,用于控制4种气体的混合


上一篇:定制CVD管式炉 下一篇:石墨稀-碳纳米管材料CVD设备