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定制CVD管式炉

定制CVD管式炉

定制CVD管式炉

此定制CVD管式炉包含3大部分,第一部分为标准加热,第二部分为真空泵系统,第3部分4 路质量流量计.

产品介绍:

第一部分:标准件加热
管式炉
显示 LED显示屏(电脑控制)
极限温度 1200
连续温度       ≤1100℃
温区 150*200*150mm(3区)
独立温控
热电偶 K型
温度精度  ±1℃
管尺寸 160x 1000mm (OD x minimum L)
150mm(ID±2mm) 厚度 5mm
  材质:石英管
温度控制 通过 SCR 功率
控制进行PID 自动控制
加热曲线 30步可编程
 
安全元件
过温报警 过流保护 开门时断电
热电偶断线指示

真空法兰
一侧为带阀门的不锈钢水冷真空法兰,另一侧为水冷铰链式真空法兰。
包括气动开关阀,与 PSV 和 MFC 相连(当压力超过 1 bar 时,MFC 和炉子都应关闭,PSV 释放
高压。
三通阀 一个用于 KF25 真空阀
第二个用于 1/8” 阀门
第三个用于 1/2” 阀门(到鼓泡器)
电源供应 380V 50/60Hz 三相
输出功率 基于最终设计

第二部分 真空泵系统
真空泵 VRD-8旋片泵抽速2.2L/s真空泵+挡板阀
真空度:-0.1mpa(相对压力)
第 3 部分 4 路质量流量计
  
4路质量流量计(电脑控制)
四个精密质量流量计:
MFC1: 0 to 2000 sccm, Accuracy ±-1.5%FS H2 MFC2: 0 to 2000 sccm Accuracy ±-1.5%FS CO2
MFC3: 0 to 2000sccm Accuracy ±-1.5%FS CH4 MFC4: 0 to 200 sccm
精度 ±-1.5%FS Ar4 不锈钢针阀安装在底壳左侧,用于手动控制 4 种气体混合
MFC 可在计算机上控制。
混合气体在流入炉管前会被预热到100-200C。
SS 螺旋管 

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