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定制快速退火炉

定制快速退火炉

定制快速退火炉

该定制快速退火炉是一款由RTP (快速热处理) 管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成,专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。

产品概述:
    该定制快速退火炉是一款由RTP (快速热处理) 管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成,专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。 这款设备是采用红外灯加热,最快升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制,RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
技术参数:

产品名称

定制快速退火炉

第一部分: 管式炉

产品名称

开启式上下温区RTP管式炉  

温度

最高1000度

控 制 器

LCD触摸屏

炉管尺寸

石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口  

加热区

300mm  

炉型

开启式

供电电源

 电压:380V; 频率:50 hz;三相

加热元件

 卤素灯加热  

升温速率

 30 C/秒

热 电 偶

  K  型热电偶测物料处温度

温度控制器

30段高精度数字可编程温度控制器

 第二部分  混气系统

量程

MFC1:氧气(O2)0-200sccm

MFC2:氩气(Ar)0-200sccm

第三部分 真空系统

飞越VDR-4  1L/S  +粉尘过滤器配套防腐数显真空计

快速退火炉
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